上海惠生中心入驻的企业包括但不限于以下知名企业和研究机构：

1. 国家高性能集成电路（上海）设计中心：专注于高性能集成电路的设计与研究，是集成电路领域的领军企业。
2. 国家数字化制造中心：致力于数字化制造技术的研发与应用，推动制造业的数字化转型。
3. 上海信息安全工程技术研究中心：专注于信息安全领域的技术研究与创新，为信息安全产业提供技术支持。
4. 中国科学院上海应用物理研究所：从事应用物理研究，为科技创新提供基础研究支持。
5. 药物制剂国家工程研究中心：专注于药物制剂的研发与生产，推动药物制剂技术的创新与发展。